سیمی کنڈکٹر گیس کی ترسیل کے نظام کے لیے اعلی کارکردگی والے IGS سرفیس ماؤنٹ سی سیل فلٹرز
تفصیل
HENGKO سرفیس ماؤنٹ فلٹرز سیمی کنڈکٹر OEM ٹولز میں استعمال ہونے والے مربوط گیس سسٹمز کی مانگ کی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے بنائے گئے ہیں۔ 0.003 µm پر صنعت کی معروف فلٹریشن پیش کرتے ہوئے، یہ فلٹرز 120 slpm پر ≥99.9999999% (9-LRV) کی پارٹیکل انٹرسیپشن کارکردگی کے ساتھ غیر معمولی کارکردگی اور وشوسنییتا کو یقینی بناتے ہیں۔
فلٹر عنصر اور رہائش کے لیے مضبوط 316L سٹینلیس سٹیل کے پاؤڈر سے بنایا گیا ہے، یہ فلٹرز SEMI F86-0304 وضاحتوں کے مطابق ہیں، جن میں 1.125" گیس کی تقسیم کے نظام کے لیے تیار کردہ دو پورٹ اجزاء کی خاصیت ہے جس میں زیادہ سے زیادہ C-سیل سپورٹ کنفیگریٹ 4 میں دباؤ ہے۔ 100°C اور 100°C پر زیادہ سے زیادہ آپریٹنگ پریشر کا فرق 0.69 MPa۔
یہ خصوصی فلٹرز، C-type اور W-type مہر کی تصریحات کے ساتھ مطابقت رکھتے ہیں، ذرّہ کے اخراج کے ساتھ بہاو کی صفائی حاصل کرتے ہیں۔
Ra کی سطح ختم کے ساتھ< 1.6 µm بیرونی اور Raاندرونی حصے پر <0.13 µm، انہیں 460°C تک اعلی درجہ حرارت کو برداشت کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ آسان انضمام اور ماڈیولر ڈیزائن اپ گریڈ کے لیے انجنیئر کیے گئے، یہ فلٹرز تنصیب اور دیکھ بھال کو آسان بناتے ہیں، سیمی کنڈکٹر گیس کی ترسیل اور کنٹرول ایپلی کیشنز میں سسٹم کی کارکردگی کو بہتر بنانے میں مدد کرتے ہیں۔
مصنوعات کی خصوصیت
▶ مجموعی طور پر 316L سٹینلیس سٹیل کی تعمیر
▶ چھوٹا ڈیزائن، کمپیکٹ ڈھانچہ، جگہ کی بچت
▶ بہترین گیس کی تبدیلی اور ڈیسورپشن کی خصوصیات
▶ اعلی درجہ حرارت، ہائی پریشر، اور سنکنرن مزاحم
▶ الیکٹرو پالش 316L سٹینلیس سٹیل ہاؤسنگ
▶ آسان اور موثر تنصیب اور دیکھ بھال
▶ مکینیکل سگ ماہی، ساختی طور پر درمیانے درجے کے لیے غیر ویلڈیڈ
ڈیٹا شیٹ
| تکنیکی پیرامیٹرز | اقدار |
|---|---|
| فلٹر عنصر مواد | 316L سٹینلیس سٹیل سنٹرڈ پاؤڈر |
| ہاؤسنگ میٹریل | 316L سٹینلیس سٹیل |
| زیادہ سے زیادہ داخلی دباؤ | 3.4 MPa @ 100°C |
| زیادہ سے زیادہ آپریٹنگ فرق | 0.69 MPa @ 100°C |
| ہیلیم کی تصدیق کے لیک کی شرح | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| ہیلیم ٹیسٹ لیک کی شرح | 1x10⁻⁹ cc/min |
| سطح کا علاج | بیرونی سطح Ra< 1.6 μm |
| اندرونی سطح Ra<0.13 μm | |
| زیادہ سے زیادہ آپریٹنگ درجہ حرارت | 460°C |
| پارٹیکل انٹرسیپشن کی کارکردگی | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (حوالہ MPPS، تمام ذرات) |
| بہاو کی صفائی | پارٹیکل ریلیز:<0.03 ذرات/لیٹر (< 1 ذرہ/فٹ³) |
| اتار چڑھاؤ:<10 پی پی بی نمی | |
| پارٹیکل انٹرسیپشن سائز | ≥0.003 μm |
| بہاؤ کی حد | 0 ~ 120 slpm |
سائز
یہ وہ حصہ نمبر ہے جسے آپ آرڈر کر سکتے ہیں اور سائز کی تفصیلات:
| پروڈکٹ ماڈل | بہاؤ کی شرح | اونچائی H (ملی میٹر) | فلٹریشن صحت سے متعلق | صفائی کی سطح |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0.003 μm | C |
عام ایپلی کیشنز
ڈبلیو سیل اور سی سیل کے ساتھ استعمال کے لیے، 1.125" اور 1.5" سرفیس ماؤنٹ ماڈیولر گیس ڈیلیوری سسٹم۔
اپنا پیغام ہمیں بھیجیں:
